「SEMICON China 2015」出展のご案内

2015年2月19日

2015年3月17日(火)~19日(木)の3日間、Shanghai New International EXPO Centre で開催される「SEMICON China 2015」に出展いたします。半導体露光装置関連製品を展示いたします。

【当社出展製品】
  ・PPDSX
    露光レシピ管理システム
  ・RGS
    露光レシピ自動生成システム
  ・LSMS
    露光ログ・レポート・ツール

【開催日時】
  2015年3月17日~19日 9時~17時

【会場】
Shanghai New International EXPO Centre W5